TF5220 | TwinCAT 3 CNC 軸包TF5220 | TwinCAT 3 CNC 軸包1使用 TwinCAT CNC Axes Pack，最多可以擴展 64 個軸/受控主軸，其中最多 32 個路徑軸和最多 12 個受控主軸。

EtherCAT：半導體行業的標準EtherCAT 在半導體行業享有盛譽：的晶圓級生產設備制造商中有 12 家是 EtherCAT 技術集團 (ETG) 的成員，并在其機器和系統中使用 EtherCAT。者應用材料公司是 ETG 的創始成員，并在該協會的董事會中有代表。大型半導體制造商現在正在為其新的生產設施使用 EtherCAT。 EtherCAT 是 SEMI™ 標準，ETG 非?；钴S的半導體技術工作組開發了一系列特定于行業的設備配置文件。 EtherCAT 的安全性也已進入晶圓廠。Beckhoff 是 EtherCAT 的發明者，也是基于 PC 的控制以及模塊化 I/O 組件的先*。沒有其他制造商擁有更多的 EtherCAT 專業知識或提供更多種類的 EtherCAT 設備。 TwinCAT 是 EtherCAT 主站的黃金標準，當然每個 EtherCAT 設備供應商都使用 TwinCAT 軟件作為參考。我們的解決方案體現在整個半導體行業：無論是前端還是后端，無論是芯片還是光伏，從晶圓運輸到組裝系統。我們為所有應用提供合適的 I/O 模塊、可擴展的控制器、強大的驅動技術和引人注目的軟件解決方案——自然地與該行業的 EtherCAT 相結合。作為半導體行業值得信賴的合作伙伴，我們也熟悉該行業的特殊要求，例如“精確復制”。